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產(chǎn)品展示 / products 您的位置:網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品展示 > 氣體流量控制器 > 天然氣流量計 > D07系七星華創(chuàng)流量計
七星華創(chuàng)流量計

七星華創(chuàng)流量計

簡要描述:七星華創(chuàng)流量計流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。

產(chǎn)品型號: D07系

所屬分類:天然氣流量計

更新時間:2023-03-24

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子/電池,航空航天

七星華創(chuàng)流量計質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量;質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。


七星華創(chuàng)流量計使用腐蝕性氣體問題:

流量計氣流通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于 316L 不銹鋼),氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下,可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用氨氣的用戶應(yīng)在定貨時聲明。9E、9EM 型流量計產(chǎn)品不能用于有機(jī)溶劑蒸汽(如丙酮等)和 BCl3、BBr3 等強(qiáng)腐蝕性氣體。閥口的密封材料通常為氟橡膠或耐氨橡膠,對于 9E 型質(zhì)量流量控制器也可以選用聚四氟乙烯;當(dāng)選用四氟乙烯時,閥口容易出現(xiàn)漏氣,閥口密封的漏氣率小于滿量程流量的 2%;對于使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應(yīng)改變。



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